电子级磷酸
化学式： | H3PO4 |
分子量： | 97.99 |
规格： | 85%浓度，金属小于100ppb |
性状： | 无色无味透明液体，中强酸 |
用途： | 主要用于半导体晶圆蚀刻，去除氮化硅层结构和清洗作用。 |
包装贮存： | 20L、200L、IBC吨桶以及槽车包装 |
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